Naprašovací zařízení

"Předmětem plnění veřejné zakázky je dodávka naprašovacího zařízení. Jedná se o kompaktní systém, kde pracovní komora je pro zabezpečení rovnoměrnosti vrstvy ve tvaru kvádru a z nerezavějící oceli. Systém naprašovacího zařízení se skládá z těchto základních dílů: • chlazená, popř. vyhřívaná pracovní komora s průzorem, hranatá, • vakuová část včetně turbomolekulární vývěvy, • magnetronové naprašovací jednotky (3 ks), • chladící a vyhřívací systém, • měřicí systém pro kontrolu tlouštěk nanášených vrstev. Součástí dodávky jsou také celkem 3 ks terčů (targetů) Ti – titan 1ks, ITO – indium tin oxide 1ks, Al – hliník 1ks. "